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高密度等离子体源详细设计评审会召开
发布人:王晓野  发布时间:2019-10-10   浏览次数:165

2019年9月23日,等离子体系统的高密度等离子体源详细设计评审会在合肥召开,评审意见为“通过”,并同意承制方在修改完善并经甲方技术复核后,转入加工制造阶段。


高密度等离子体源详细设计评审会