仪器名称：微区X射线光电子能谱仪 厂家：ThermoFisher Scientific 型号：Esca Xi+ 联系人：林倩茹 电话：15898146231 地点：科创大厦K2138

主要规格及技术参数

最佳能量分辨率 ≤ 0.43 eV

最佳空间分辨率 ≤ 20 μm

斑束尺寸20 μm ~ 900 μm

主要功能及特色

可以用来测量材料表面的元素构成，化学态和电子态，表面元素构成的均匀性，并可以在微米范围内实现微区成像功能。与超高真空互联系统连接在一起，可以在超高真空条件下实现从样品制备到化学信息分析测试的半原位过程，从而分析样品表面信息。

XPS-Esca Xi+仪器使用规范.docx