器件辐照研究

双盘研磨及自动用酸开封集成系统

2022/04/21 12:53 点击:19

仪器名称:双盘研磨及自动用酸开封集成系统


厂家:美国RKD

型号:Elite Etch 7000

联系人:刘超铭

电话:15636058860

地点:空间环境地面模拟装置综合楼器件系统N203室



主要规格及技术参数


1. 研磨方式:研磨盘加磨料研磨样品,抛光盘贴砂纸的方式研磨样品

2. 双盘设计,可以同时对多个样品一起进行研磨

3. 转向:顺时针,逆时针

4. 温度可控范围:20℃~250℃

5. 刻蚀模式:脉冲式和往复式

6. 刻蚀时间:1S~1800s

7. 酸的选择:发烟硝酸,硫酸或发烟硫酸,混酸

8. 混酸比例:9:1,5:1,4:1,3:1,2:1,1:1(硝酸到硫酸比例)

9. 刻蚀流量选择:1-6ml每分钟


主要功能及特色

双盘研磨及用酸开封系统主要用于器件试验前的开帽流程,采用物理研磨方法对陶瓷等耐酸碱的封装材料进行开帽,采用酸和加热对金属,塑料等封装材料进行腐蚀。此系统为测试和分析器件的前期处理设备。