( 国家重大科技基础设施 )
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气体环境综合模拟舱
SiC化学气相沉积炉
脉冲激光沉积仪
光电薄膜电子束蒸镀系统
光电功能材料制备系统
超高真空磁控溅射镀膜仪
原型器件制备系统
放电等离子体烧结炉
角分辨光电子能谱