光电薄膜电子束蒸镀系统
2022/04/21 14:13 点击：19
仪器名称：光电薄膜电子束蒸镀系统（建设中） 厂家：布勒莱宝 型号：ARES1100 联系人： 电话： 地点： |
主要规格及技术参数
1. 蒸发屏蔽挡板装置、保护挡板屏蔽、冷阱系统、制冷系统，加热系统，PIAD 等离子体辅助沉积源系统，PVD蒸发源系统，物理厚度监控系统，光学膜厚监控系统；
2. 真空度：5×10-7 mbar，最大温度可达300°C，电子束蒸发器：最大功率10kw，要求电子束偏转角度270°；光学监控系统：要求可监控范围在400nm-2400nm，信噪比数值为1/100000。
主要功能及特色
光电薄膜电子束蒸镀系统的设计针对各种不同基片材料制备多种光学薄膜，通过真空状态下纳米级厚的膜层设计和叠加，进而大幅度提高基片在某段波长的透过率或者反射率，以及不同波段的膜层透过或截止功能。
