仪器名称：脉冲激光沉积仪（建设中） 厂家：深圳矩阵多元科技有限公司 型号： 联系人： 电话： 地点： |
主要规格及技术参数
LMBE腔室真空度： 10-8 Pa
靶台：自旋式
衬底温度：800℃
气路：至少2路
光路：可定制
附件：高压RHEED
主要功能及特色
脉冲激光沉积仪是哈尔滨工业大学“空间环境地面模拟装置”国家重大科技基础设施项目微观机理分析分系统的重要薄膜及原型器件组成设备，用于空间环境应用条件下各类导电，非导电材料的制备，及原型器件的制备研发等，是空间综合环境表面效应研究子系统重要组成部分。
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