仪器名称：超高真空磁控溅射镀膜仪（建设中） 厂家：中科泰龙电子有限公司 型号： 联系人： 电话： 地点： |
主要规格及技术参数
真空度：10-7 Pa
2英寸溅射靶：至少4个
衬底温度：800℃
气路：氩气、氮气、氧气
水冷加热：可定制
主要功能及特色
微观机理分析分系统的重要薄膜及原型器件组成设备，用于空间环境应用条件下各类导电，非导电材料的制备，及原型器件的制备研发等，是空间综合环境表面效应研究子系统重要组成部分。
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