仪器名称:超高真空磁控溅射镀膜仪(建设中)
厂家:中科泰龙电子有限公司
型号:
联系人:
电话:
地点:
主要规格及技术参数
真空度:10-7 Pa
2英寸溅射靶:至少4个
衬底温度:800℃
气路:氩气、氮气、氧气
水冷加热:可定制
主要功能及特色
微观机理分析分系统的重要薄膜及原型器件组成设备,用于空间环境应用条件下各类导电,非导电材料的制备,及原型器件的制备研发等,是空间综合环境表面效应研究子系统重要组成部分。